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製品情報


Equipment/Adapter

Equipment/Adapterは、半導体・液晶製造装置・検査装置をオンライン対応する為のソフトウェアパッケージです。
貴社の装置を簡単・迅速・安価にSEMI準拠の装置へ対応可能にします。

PLC-CIM

国内・海外の半導体・液晶工場で多くの実績を持つEquipment/Adapterを三菱電機社製のC言語コントローラに移植しました。

EDA/Adapter

EDA/Adapterは、SEMIスタンダード及びSelete仕様の装置の歩留まり向上のために必要なデータ収集システムを容易に構築します。

Process Tracker

半導体、液晶製造装置向け、リアルタイムプロセスデータ解析ツールです。
高周波数でサンプリングされたプロセスデータを詳細に解析し、歩留まり向上を実現します。


InterfaceA Client Siulator

InterfaceA対応装置との通信テストを行うテストツールです。
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