EDA(Interface-A)対応製品：
EDA Adapter

ソフトウェア製品概要

EDA Adapterは、半導体プロセス装置のエンジニアリング・データ収集に活用可能なSEMI規格(Interface-A)に準拠したパッケージソフトウェアです。

特徴

  • 組み込みが簡単（NON-プログラミング）

EDA/Client、EDA/Serverでは、GUI定義ツールで装置のメタデータ（イベント、パラメータ、アラーム、装置構成）を定義するだけです。
EDA/Clientでは、装置側とInterfaceA規格で通信を行い、装置のメタデータ（イベント、パラメータ、アラーム、装置構成）を自動収集し定義可能です。

  • SEMI規格対応

100%自社開発のパッケージ製品です。最新のSEMI規格の取り込みは随時行います。

  • 収取データ保存形式

収集データは標準でCSV/DB保存が選択可能です。
CSV/DB保存以外に本製品へのプラグインとして.NET Framework上での開発が可能です。

  • EDA/Client構成図

EDA/Client(Interface-A)

  • EDA/Server構成図

EDA/Server(Interface-A)

InterfaceA規格対応

      • 1st Freeze (V1105)
      • 2nd Freeze (V0710)

（※3rd Freeze対応予定）

SEMI規格対応

SEMI規格 説明 EDA Adapter
SEMI E120 CEM（装置部品リスト） ○
SEMI E125 ESD（装置自己記述―メタデータ） ○
SEMI E132 ECA（クライアント認証、権限付与） ○
SEMI E134 DCM（データ収集管理） ○