EDA(Interface-A)対応製品:
EDA Adapter


ソフトウェア製品概要

EDA Adapterは、半導体プロセス装置のエンジニアリング・データ収集に活用可能なSEMI規格(Interface-A)に準拠したパッケージソフトウェアです。


特徴

  • 組み込みが簡単(NON-プログラミング)

EDA/Client、EDA/Serverでは、GUI定義ツールで装置のメタデータ(イベント、パラメータ、アラーム、装置構成)を定義するだけです。
EDA/Clientでは、装置側とInterfaceA規格で通信を行い、装置のメタデータ(イベント、パラメータ、アラーム、装置構成)を自動収集し定義可能です。

  • SEMI規格対応

100%自社開発のパッケージ製品です。最新のSEMI規格の取り込みは随時行います。

  • 収取データ保存形式

収集データは標準でCSV/DB保存が選択可能です。
CSV/DB保存以外に本製品へのプラグインとして.NET Framework上での開発が可能です。

  • EDA/Client構成図

EDA/Client(Interface-A)


  • EDA/Server構成図

EDA/Server(Interface-A)


InterfaceA規格対応

      • 1st Freeze (V1105)
      • 2nd Freeze (V0710)

(※3rd Freeze対応予定)


SEMI規格対応

SEMI規格 説明 EDA Adapter
SEMI E120 CEM(装置部品リスト)
SEMI E125 ESD(装置自己記述―メタデータ)
SEMI E132 ECA(クライアント認証、権限付与)
SEMI E134 DCM(データ収集管理)