SECS/HSMS/GEM/GEM300
対応製品：Equipment Adapter

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ソフトウェア製品概要

Equipment Adapterは、販売開始(1999年)以来、累計約30,000ライセンスの稼働実績があります。
SECS/HSMS/GEM/GEM300など、多くの通信規格に対応可能です。
多数のユーザ様で長年の安定稼働実績があり、柔軟な対応が可能である100%自社開発パッケージソフトウェアです。

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特徴

• 組み込みが簡単（NON-プログラミング）

使用する通信回線の通信ドライバーを選択し、プロトコルパラメータ、メッセージ、シナリオを、テキストファイル（CSV形式）に設定するだけ。

• SEMI規格対応

100%自社開発のパッケージ製品です。最新のSEMI規格の取り込みは随時行います。

• 特殊仕様の対応

規格外仕様、特殊処理スイッチのようなものを設け、パッケージの機能としての組み込みを可能にしてます。

• ホストシミュレータ

出荷前実績テストに便利なホスト・シミュレータをGEM/GEM300まで提供してます。

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導入実績

半導体前工程	洗浄装置（枚葉・バッチ式、固定・内部バッファ）
	アッシング装置
	イオン注入装置
	スパッタリング装置
	CVD装置
	PVD装置
	ウェット・ドライエッチング装置
	露光装置
	CMP装置
	アニール装置
	縦型拡散炉装置、横型拡散炉装置
	塗布・現像装置
	検査装置（外観検査測定、膜厚測定、表面検査、方位測定、異物検査、電子顕微鏡、抵抗率測定、X線分析）
	プラズマ処理装置
	レーザーマーキング装置

半導体後工程	マウンタ装置
	テスタ、ハンドラ、プローバ装置
	ボンディング装置（ワイヤー、ダイ、フリップチップ）
	モールディング装置
	バーイン装置
	封止装置
	ダイジング（スクラブ、ブレイク）装置

FPD・電子部品	イオン注入装置
	剥離装置
	パネルエッチング、現像、洗浄装置
	露光装置
	塗布装置
	レーザーマーキング装置
	画像検査装置
	張り合わせ装置
	オーブン・乾燥装置
	封止装置
	めっき装置
	ディスペンス装置
	リフロー炉

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SEMI規格対応(Windows系 / Linux系)

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対応外部接続（ソフトウェア、機器）