
EDA(Interface-A)対応製品:
EDA Adapter
EDA Adapterは、半導体プロセス装置のエンジニアリング・データ収集に活用可能な
SEMI規格(Interface-A)に準拠したパッケージソフトウェアです。
EDA/Client、EDA/Serverでは、GUI定義ツールで装置のメタデータ(イベント、パラメータ、
アラーム、装置構成)を定義するだけです。
EDA/Clientでは、装置側とInterfaceA規格で通信を行い、装置のメタデータ(イベント、
パラメータ、アラーム、装置構成)を自動収集し定義可能です。
100%自社開発のパッケージ製品です。最新のSEMI規格の取り込みは随時行います。
収集データは標準でCSV/DB保存が選択可能です。
CSV/DB保存以外に本製品へのプラグインとして.NET Framework上での開発が可能です。


※3rd Freeze対応予定
| SEMI規格 | 説明 | EDA Adapter |
| SEMI E120 | CEM(装置部品リスト) | 〇 |
| SEMI E125 | ESD(装置自己記述―メタデータ) | 〇 |
| SEMI E132 | ECA(クライアント認証、権限付与) | 〇 |
| SEMI E134 | DCM(データ収集管理) | 〇 |