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GEM300開発・SEMI規格のソフトウェア開発シグマシステム株式会社GEM300開発・SEMI規格のソフトウェア開発シグマシステム株式会社

EDA Adapter(EDA/A)

EDA(Interface-A)対応製品:
EDA Adapter

ソフトウェア製品概要

EDA Adapterは、半導体プロセス装置のエンジニアリング・データ収集に活用可能な
SEMI規格(Interface-A)に準拠したパッケージソフトウェアです。

特徴

組み込みが簡単(NON-プログラミング)

EDA/Client、EDA/Serverでは、GUI定義ツールで装置のメタデータ(イベント、パラメータ、
アラーム、装置構成)を定義するだけです。
EDA/Clientでは、装置側とInterfaceA規格で通信を行い、装置のメタデータ(イベント、
パラメータ、アラーム、装置構成)を自動収集し定義可能です。

SEMI規格対応

100%自社開発のパッケージ製品です。最新のSEMI規格の取り込みは随時行います。

収取データ保存形式

収集データは標準でCSV/DB保存が選択可能です。
CSV/DB保存以外に本製品へのプラグインとして.NET Framework上での開発が可能です。

EDA/Client構成図

EDA/Client構成図|EDA Adapter

EDA/Server構成図

EDA/Server構成図|EDA Adapter

InterfaceA規格対応

※3rd Freeze対応予定

SEMI規格対応

SEMI規格 説明 EDA Adapter
SEMI E120 CEM(装置部品リスト)
SEMI E125 ESD(装置自己記述―メタデータ)
SEMI E132 ECA(クライアント認証、権限付与)
SEMI E134 DCM(データ収集管理)
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主な製品主な製品
Equipment Adapter(E/A)Equipment Adapter(E/A)
EDA Adapter(EDA/A)EDA Adapter(EDA/A)
SMT-ELS Adapter(SMT-ELS/A)SMT-ELS Adapter(SMT-ELS/A)
Deep Learning Adapter(DPA)Deep Learning Adapter(DPA)
搬送Scheduler搬送Scheduler
HSMSSimV2HSMSSimV2
稼働監視稼働監視
PLCSimPLCSim
Sigma IoT GWSigma IoT GW
導入実績導入実績
装置オンライン装置オンライン
画像処理画像処理
FA全般FA全般